鑫东兴
XIN DONG XING
专注测控领域18年
服务与质量并进 技术与理念领先
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服务与质量并进 技术与理念领先
●半导体制造
●真空镀膜
●化工分析气流测量与控制
1、具有流量精度高、线性好、零漂小。
2、气流响应速度快、气阻小，工作压力范围宽。
3、耐压高及适用于真空条件下工作。
4、气体流量精度不因温度、压力的变化而变化。
5、阀体气密材料采用抗腐蚀材料，耐腐蚀性强。
6、可任意角度安装。
热式质量流量控制器，利用气流流过毛细管，改变毛细管温度分布， 造成上下游温差方法，而测得气体质量流量。不同于容积式流量计，其流量精度 不受气体压力、环境温度影响。由于上下游温差总是实时反应气流瞬时流量， 所以特别适用于过程控制中的气体流量的精密测量和控制。
| 项目 | 性能参数 |
| 流量规格 | (100,150,200)L/min |
| 调节阀类型 | 电磁调节阀 |
| 调节阀静止状态 | 常闭 |
| 流量控制范围 | 5%-100%F.S. |
| 流量测量范围 | 0%-100%F.S. |
| 响应时间 | 2 sec（T98） |
| 工作环境温度 | 5-50℃ |
| 精度保证温度 | 15-35℃ |
| 精度 | ±1.0%F.S. |
| 线性精度 | ±0.5%F.S. |
| 重复性 | ±0.2%F.S. |
| 工作压差 | （100/150/200)L/min:(100/150/200)-300kPa(D) |
| 耐压 | 3MPa(G) |
| 接触气体材料 | 316L,PTFE, Viton |
| 管路接头 | Swagelok:3/8″ Φ10 VCR:1/2″VCR:1/4″3/8″8 |
| 供电电源 | ±15VDC(±5%) +15V，<100mA -15V，<200mA |
| 输入阻抗 | >1MΩ4-20mA；(可定制: 1-5V 或 0-5V，输入阻抗>100kΩ) |
| 流量输出信号 | (0-5)VDC |
| 负载能力 | ≤3mA4-20mA；(可定制: 1-5V 或 0-5V，负载能力≤3mA) |
| 电气接头 | D-SUB15,D-SUB9 |
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